压力传感器
特点
使用蓝宝石上硅技术及应变计,将压力作为电信号进行测量的高精度、长期稳定型压力传感器。根据不同的测量目的而连接各种不同的测量仪器,进行压力的显示、记录、控制、监视等。 蓝宝石上硅(SOS)技术是指,在蓝宝石(Al2O3单晶)电路板上生长硅薄膜的结晶(外延生长),加工成硅半导体而形成应变计的技术。 硅半导体应变计和蓝宝石电路板(压力传感器隔膜)之间的接合为原子级别,因此实现了稳定性优异的压力传感器。
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高精度
作为隔膜材料的蓝宝石属于氧化铝单晶,响应性高,直线性和磁滞特性极其优异。
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高可靠性
硅半导体应变计和蓝宝石电路板之间的接合为原子级别,因此具有极其稳定的特性和高可靠性。负压侧的负载特性与正压侧保持相同水平,因此可测量高精度的复合压。
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高耐热性
SOS技术中的蓝宝石电路板本身即为高绝缘体,即使在350℃的高温环境下也可用作传感器。
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氢气适应性
蓝宝石的氢气适应性优异,解决了透射和脆化问题。
产品用途
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• 建筑机械的液压管理
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• 在空间狭窄的管道内进行压力测量
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• 空调装置等的制冷剂压力监视
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• 气体填充容器的品质管理
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• 可根据不同用途来选择尺寸、形状、规格精度等,因此被广泛用作嵌入设备用传感器。
美蓓亚的压力传感器主要用于一般工业领域,其精度高,耐环境性和温度特性优异,直接与压力介质和元件接触(直压式),还适用于需高响应性的试验检测等的压力计测。
压力传感器产品系列
SOS式放大器内置压力传感器(压力变送器)
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SOS压力传感器的介绍
硅蓝宝石(Silicon On Sapphire)技术是指,在蓝宝石(Al
2O
3单晶)衬底上生长硅薄膜(外延生长)的技术。 对于使用了该硅薄膜的硅半导体应变片,电阻丝本身和蓝宝石衬底之间的接合为原子级别,构成物理和电气特性极其稳定的理想的传感器。每架H-ⅡA火箭已采用56台(NS800系列)。
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精度 0.2 %R.O.、可高精度测量复合压、绝对压力。 也可制作符合CE标准的产品(仅电压输出)。
额定量程:200 kPa~50 MPa
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小巧(φ22 × 1.62)、轻盈(100 g)、配备排气塞、可通过压力介质进行排气
额定量程:1 MPa~10 MPa
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精度 0.1%R.O.、长期稳定性、坚固性、抗浪涌电压能力优异的压力传感器。带零点调整
额定量程:500 kPa~10 MPa(NS115P/高精度品)、5 MPa~50 MPa(NS115/标准品)
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补偿温度范围 -30~125℃(高精度品:在标准补偿的基础上,实现了0~50℃高性能),范围宽,可适于多种用途。拥有2kHz信号响应性能。额定量程:200 kPa~30 MPa
应变片式放大器内置压力传感器(压力变送器)
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综合精度:±1.0 %F.S.、配备ASIC放大器、温度影响较小、抗干扰性优异的高功能型压力传感器
额定量程:5 MPa~100 MPa
SOS式压力传感器
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精度 0.2 %R.O.、可高精度、高响应测量复合压、固有频率 72 kHz~1 278 kHz/200 kPa~50 MPa
额定量程:200 kPa~50 MPa
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精度 0.2 %R.O.、小巧轻盈、可高精度、高响应测量复合压、固有频率 72 kHz~566 kHz/200 kPa~10 MPa
额定量程:200 kPa~10 MPa
应变片式压力传感器
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小巧、轻盈、装拆简便、适用于大范围压力的丰富的产品系列
额定量程:1 MPa~100 MPa
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平膜式的高响应型压力传感器、小巧轻盈、装拆简便
额定量程:1 MPa~100 MPa
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高温(150 ℃)~低温(-40 ℃)用压力传感器、小巧轻盈、装拆简便
额定量程:1 MPa~10 MPa
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高压用压力传感器、受压部分为带螺纹的一体化结构
额定量程:200 MPa ~ 500 MPa
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小巧轻盈、螺纹规格 M10×P1.0、高响应、无需从压力导入口排气
额定量程:2 MPa ~ 20 MPa